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半導体関連の日本株 SCREENホールディングス ウエハー洗浄装置で世界一 最新製品は生産性が2倍に

    (出所)ブルームバーグ
    (出所)ブルームバーグ

     洗浄装置には、ウエハーを1枚ずつ洗浄する「枚葉式」と20〜50枚を一度に洗う「バッチ式」の2種類がある。ウエハーのプロセス処理の高精度化が進む中、処理能力の向上が目覚ましい枚葉式に移行しつつある。

     主力製品の枚葉式洗浄装置「SU─3200」は12の洗浄槽を持ち、最大で毎時800枚を洗浄できる。

     さらに先を行く最新製品「SU─3300」は、最大で24の洗浄槽を搭載でき…

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