SCREENホールディングス　微細化左右する洗浄工程で強み

　半導体製造装置の大手メーカー。ウエハー洗浄装置では世界シェアで圧倒的な首位。ウエハー洗浄工程は半導体の全製造工程のうち、およそ4分の1を占める重要工程だ。製造の工程で何度も洗浄するためだ。

　近年、半導体の微細化進展に伴って、微細なゴミや不純物などを取り除く必要が一層高まっている。複数枚のウエハーを一度に薬液に浸してまとめて洗浄する「バッチ式」よりも、ウエハーに薬液をスプレーして1枚ずつ洗浄する「枚葉式」のニーズが増加している。SCREENは枚葉式に強みを持つ。微細化で枚葉式が優位な状況になっていくだろう。

　同社はまた、コーター・デベロッパー（感光材塗布・現像装置）も展開。ウエハー上にフォトレジスト（感光性の液状樹脂）を塗布した後、露光装置で転写した回路パターンを現像する装置で、微細化の要の技術だ。