フォトマスクと呼ばれるガラス基板上に描いた電子回路の微小な線幅を、電子ビームで計測する検査装置が急成長し、業績も拡大傾向にある。微細化が進み、従来の光学式の測定装置では線幅を計測できなくなり、電子ビームを使った測定装置への置き換えが進んでいる。

　最新機「ＺＸ（ジーテン）」は微細化で落ちる歩留まりを最小限に抑える特性が顧客に高い評価を得ているもよう。１台当たりの金額などは非公表だが、数億円…