テクノロジー図解で見る電子デバイスの今

半導体需要で好調な電子材料ガス 市場拡大で相次ぎ増産=松永新吾/26

 電子材料ガス(エレクトロニクスガス)は、半導体や液晶、太陽電池などさまざまなエレクトロニクス製品を製造する際に使用する特殊な高純度ガスである。大きくは、半導体の配線などを形成する材料ガスと、エッチング(半導体の微細加工などを行う工程)や製造装置のクリーニングなどに使用するプロセス用のガスがある(表)。

 例えば、三フッ化窒素(元素記号はNF3 以下同)や塩素(Cl2)は製造装置のクリーニングガスとして広く利用されており、六フッ化タングステン(WF6)は半導体のタングステン配線材料として需要が急増している。NAND(書き換え可能で、電源を切ってもデータが残る)メモリーやDRAM(記録保持動作が必要な随時書き込み読み出しメモリー)など半導体メモリーのエッチングガスとしては、臭化水素(HBr)、モノフ…

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