テクノロジー図解で見る電子デバイスの今

半導体需要で好調な電子材料ガス 市場拡大で相次ぎ増産=松永新吾/26

     電子材料ガス(エレクトロニクスガス)は、半導体や液晶、太陽電池などさまざまなエレクトロニクス製品を製造する際に使用する特殊な高純度ガスである。大きくは、半導体の配線などを形成する材料ガスと、エッチング(半導体の微細加工などを行う工程)や製造装置のクリーニングなどに使用するプロセス用のガスがある(表)。

     例えば、三フッ化窒素(元素記号はNF3 以下同)や塩素(Cl2)は製造装置のクリーニングガスとして広く利用されており、六フッ化タングステン(WF6)は半導体のタングステン配線材料として需要が急増している。NAND(書き換え可能で、電源を切ってもデータが残る)メモリーやDRAM(記録保持動作が必要な随時書き込み読み出しメモリー)など半導体メモリーのエッチングガスとしては、臭化水素(HBr)、モノフ…

    残り3149文字(全文3501文字)

    週刊エコノミスト

    週刊エコノミストオンラインは、月額制の有料会員向けサービスです。
    有料会員になると、続きをお読みいただけます。

    ・会員限定の有料記事が読み放題
    ・1989年からの誌面掲載記事検索
    ・デジタル紙面で過去8号分のバックナンバーが読める

    通常価格 月額2,040円(税込)

    週刊エコノミスト最新号のご案内

    週刊エコノミスト最新号

    12月8日号

    もうかるEV(電気自動車)、電池、モーター14 「電動化」が業績・株価を左右 「次の勝者」探しも活発化 ■神崎 修一/桑子 かつ代/斎藤 信世16 巨人の焦り トヨタから「自動車」が消える日 ■井上 久男18 自動車部品 日本電産が台風の目に ■遠藤 功治20 図解 EV用電池「国盗り物語」 ■編集 [目次を見る]

    デジタル紙面ビューアーで読む

    おすすめ情報

    最新の注目記事